asuzac多孔卡盤介紹

這是一種由細(xì)孔組成的多孔陶瓷卡盤。
在多孔陶瓷出現(xiàn)之前，人們制作了細(xì)孔來處理薄工件，但輕微的凹痕會損壞薄膜和超薄晶圓的電路，使其在越來越多的情況下無法使用。通過使用多孔陶瓷對其進(jìn)行了改進(jìn)，并且有更多機會在保持薄膜和晶圓方面發(fā)揮積極作用。

目的/應(yīng)用

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  多孔小吸墊

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  晶圓卡盤

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  多孔大吸附級

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  夾頭

還可根據(jù)目的和應(yīng)用提供材料和尺寸。